王曦
王曦，男，1966年8月出生，中国科学院院士、上海微系统所所长、中国科学技术协会第九届全国委员会副主席。2017年5月12日，在上海市第十一次党代表大会选举为上海市出席党的十九大代表。中共十九届中央候补委员。
- 姓名
- 王曦
- 性别
- 男
- 生日
- 1966年8月
- 籍贯
- 江苏南通
- 国籍
- 中国
- 民族
- 汉族
- 政治面貌
- 中共党员
- 现任职务
- 中国科学技术协会副主席
- 毕业院校
- 清华大学
- 学历学位
- 博士
目录
1966年8月生于上海，籍贯江苏南通。
1983年毕业于南通中学，1987年从清华大学工程物理系毕业，1990年、1993年分别获中科院上海冶金所（现上海微系统所）硕士、博士学位。2009年当选为中国科学院院士，是当年新当选“两院”院士中最年轻的。
多年来，王曦致力于载能离子束与固体相互作用物理现象研究，并应用于高端集成电路衬底材料的开发。2009年当选中国科学院院士。现任上海微系统与信息技术研究所所长。
长期致力于载能离子束与固体相互作用物理现象研究，并将研究成果应用于电子材料SOI（Silicon-on-insulator）的开发。在对离子注入SOI合成过程中的物理和化学过程研究基础上，自主开发了一系列将SOI材料技术产业化的关键技术，建立了我国SOI材料研发和生产基地。在载能离子束与固体相互作用以及离子束辅助薄膜沉积技术研究方面，揭示了载能离子作用下薄膜表面微结构、相组分、电子学、光学、生物学特性，实现了载能离子束薄膜生长的可控制性。
曾获国家科技进步一等奖及何梁何利基金科学与技术进步奖等多项奖励。
2016年6月2日，中国科学技术协会第九次全国代表大会闭幕会议在人民大会堂举行，会议宣布中国科协第九届全委会主席、副主席、常委名单。经九届一次全国委员会选举，王曦当选中国科学技术协会第九届全国委员会副主席。