显影液

温水 30~45℃ 750ml

米吐尔 3g

无水亚硫酸钠 45g

对苯二酚(几奴尼) 12g

无水碳酸钠 67.5g

溴化钾 2g

温水 52℃ 750ml

米吐尔 2g

无水亚硫酸钠 100g

对苯二酚(几奴尼) 5g

硼砂 2g

温水 50℃ 800ml

米吐尔 2g

无水亚硫酸钠 90g

对苯二酚(几奴尼) 8g

无水碳酸钠 48g

溴化钾 5g

注：将药剂依次溶于温水后，加水至1000ml。

显影液的浓度是指显影剂的相对含量，即

a、显影不完全(Incomplete Development)。表面还残留有光刻胶。由显影液不足造成。

b、显影不够(Under Development)。显影的侧壁不垂直。由显影时间不足造成。

c、过度显影(Over Development)。靠近表面的光刻胶被显影液过度溶解，形成台阶。由显影时间太长造成。