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阿斯麦公司

ASML (全称: Advanced Semiconductor Material Lithography, 目前该全称己不做为公司标识使用,公司的注册标识为ASML Holding N.V),中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。
中文名
ASML
外文名
 Advanced Semiconductor Material Lithography
注册标识
ASML Holding N.V
中文名称
阿斯麦、艾司摩尔

目录

总部位于荷兰Veldhoven,欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。2010年,其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年,卖出222套机器 ,全球净销售收入56.51亿欧元 ,净利润14.67亿欧元。 

ASML总部,荷兰VeldhovenASML总部,荷兰Veldhoven

ASML在欧洲、亚洲及美国的50多个地区拥有9245名员工 ,其中固定员工7184 (欧洲4202 ,亚洲1538 , 美国1444 ),男女比例为9:1。截止2011年,全球市场占有率75%。

中国分公司地址:上海市张江高科技园区松涛路560号A栋17楼

产品服务

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。

ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产,AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。

目前已经商用的最先进机型是Twinscan NXT 1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。

ASML正在加紧研制基于极紫外(EUV)光源的新型光刻机,型号定为NXE系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显着提高集成电路质量。

技术前景

除了目前致力于开发的TWINSCAN平台外,ASML还在积极与IMEC, IBM等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如EUV(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。目前ASML已经向客户递交若干台EUV机型,用于研发和实验。同时,基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。07年末三星(Samsung)宣布成功生产的36纳米闪存,基于的便是双重曝光技术。

市场份额

目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML, 尼康(Nikon),佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),ASML大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。

在中国

ASML一直致力于中国市场的拓展与合作,包括香港在内目前已经在北京,上海,深圳,无锡等地开设分公司,为客户提供及时的服务和咨询。随着公司业务的扩大和中国半导体产业的发展,相信大连,成都,重庆,武汉等新兴的半导体基地也会纳入ASML的版图之内。ASML有信心和中国半导体从业者一道,为技术创新和市场拓展开辟道路。目前ASML已经与浙江大学,大连理工大学,哈尔滨工业大学,上海交通大学等着名高等学府签定奖学金及科研合作协议,为培养和吸引本地人才,做出自己的一份贡献。

睿初科技

www.brion.com

ASML于07年正式完成对睿初(Brion)科技的收购,使之成为旗下重要一员。睿初科技是建立在美国硅谷的高科技公司,致力于计算光刻等方面的服务,用于检测光刻缺陷及提出相应修正解决方案,在同行业中处于领跑位置。 睿初科技总部位于加州Santa Clara, 在中国地区总部位于深圳。

Cymer

ASML于2012年10月宣布收购Cymer公司,以加快EUV的研发进度。Cymer公司是世界领先的准分子激光源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源。产品主要特性是:带宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。

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